Пьезоэлектрическая подвижка наклона
| Направление смещения | Z, углы XZ и YZ |
| Количество степеней свободы | 3 |
| Резонансная частота | 100 кГц |
| Диапазон перемещения | 9 мкм |
| Максимальный угол | 0,4 мкрад |
| Диапазон напряжений | (-)30 В — (+)150 В |
| Жесткость | 50 Н/мкм |
| Рабочая температура | -50 — 120 C |
| Материал корпуса | Латунь |
| Масса | 0,1 кг |
| Габариты | 30х30х20 мм |