Пьезоэлектрическая подвижка наклона
Направление смещения | Z, углы XZ и YZ |
Количество степеней свободы | 3 |
Резонансная частота | 100 кГц |
Диапазон перемещения | 9 мкм |
Максимальный угол | 0,4 мкрад |
Диапазон напряжений | (-)30 В — (+)150 В |
Жесткость | 50 Н/мкм |
Рабочая температура | -50 — 120 C |
Материал корпуса | Латунь |
Масса | 0,1 кг |
Габариты | 30х30х20 мм |