LHI-NANO-3D

Трехкоординатный лазерный гетеродинный интерферометр для измерения перемещений в нанометровом диапазоне

Назначение:
Трехкоординатный гетеродинный лазерный интерферометр предназначен для проведения абсолютных измерений перемещений системы позиционирования объекта сканирующих зондовых, атомно-силовых, растровых электронных микроскопов и координатно-измерительных машин.

Пример комплекта поставки:
Оптический блок — 1 шт.
Блок программного обеспечения — 1 шт.

Общие сведения:
Исходной мерой длины является естественная константа — длина волны излучения непрерывного одночастотного стабилизированного He-Ne-лазера.
Исследование метрологических характеристик измерительного комплекса в составе СЗМ проводилось с помощью тестовых структур TGZ1, TGZ2, TGZ3 калиброванных в Физико-техническом федеральном институте Германии (Physikalisch-Technische Bundesanstalt, PTB) на метрологическом зондовом микроскопе. При измерении меры TGZ1 неопределенность комплекса составила 0,2 нм, что в 5 раз меньше неопределенности, достигнутой в PTB.
Метрологический сканирующий зондовый микроскоп с трехкоординатным лазерным интерферометром вошел в состав Государственного первичного специального эталона единицы длины в области измерений геометрических параметров шероховатости в диапазоне от 1 нм до 1000 нм (ВНИИМС), а также вошел в состав Государственного первичного эталона твёрдости по шкалам Мартенса и шкалам индентирования (ВНИИФТРИ, г. Менделеево).

Оптический блок

Диапазон сканирования по трем осям100/100/10 мкм
Разрешающая способность0,01 нм
Неортогональность осей измерения перемещений0,01 рад
Габариты встраиваемого оптического модуля260х260х60 мм